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歐盟納米壓印光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)低成本批量生產(chǎn)感應(yīng)薄膜

日期:2014-12-17 11:22 點(diǎn)擊數(shù):3818 來(lái)源:國(guó)家科技部共有條評(píng)論

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納米結(jié)構(gòu)傳感器陣列（NSA），以其在單一檢測(cè)裝置有效檢測(cè)樣品中分子或分子一部分的大面積多參數(shù)傳感優(yōu)勢(shì)，而在制藥業(yè)、環(huán)保等其它行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。但直到目前，其實(shí)驗(yàn)室規(guī)模小批量生產(chǎn)導(dǎo)致相對(duì)較高的制造成本，一定程度上限制了新興技術(shù)在更大范圍內(nèi)的商業(yè)化推廣應(yīng)用。歐盟第七研發(fā)框架計(jì)劃（FP7）提供490萬(wàn)歐元資助，總研發(fā)投入690萬(wàn)歐元，由歐盟6個(gè)成員國(guó)及聯(lián)系國(guó)芬蘭（總協(xié)調(diào)）、英國(guó)、德國(guó)、荷蘭、奧地利和瑞士，9家企業(yè)聯(lián)合科技界組成的歐洲PHOTOSENS研發(fā)團(tuán)隊(duì)。從2011年2月開始，致力于NSA低成本大規(guī)模工業(yè)化制造的關(guān)鍵技術(shù)與生產(chǎn)工藝突破，利用最先進(jìn)的納米壓印光刻（Nanoimprint Lithography）技術(shù)，整合卷到卷（R2R）生產(chǎn)制造工藝，實(shí)現(xiàn)了低成本大批量制造生產(chǎn)大面積NSA的工業(yè)流程設(shè)計(jì)和設(shè)備樣機(jī)開發(fā)，奠定了NSA進(jìn)一步商業(yè)化推廣應(yīng)用的基礎(chǔ)。
PHOTOSENS研發(fā)團(tuán)隊(duì)，整合納米壓印光刻技術(shù)、基底納米功能沖壓工藝和R2R生產(chǎn)工藝流程，為規(guī)?；圃旒{米結(jié)構(gòu)裝置和大面積光子結(jié)晶化合物感應(yīng)薄膜，開起了嶄新路徑。研發(fā)團(tuán)隊(duì)已成功開發(fā)出3種不同類型的全聚合物多參數(shù)感應(yīng)裝置生產(chǎn)制造工藝及設(shè)備樣機(jī)。例如，應(yīng)用于環(huán)保行業(yè)檢測(cè)空氣質(zhì)量的甲醛（Formaldehyde）光子結(jié)晶感應(yīng)裝置；應(yīng)用于制藥和食品安全行業(yè)檢測(cè)布洛芬（Ibuprofen）化合物成分的感應(yīng)裝置；和應(yīng)用于多行業(yè)的靈活嵌入式一次性多參數(shù)芯片檢測(cè)裝置。
目前，研發(fā)團(tuán)隊(duì)主要聚焦于基于3D打印技術(shù)的單模波導(dǎo)感應(yīng)檢測(cè)裝置的生產(chǎn)制造工藝開發(fā)，正在進(jìn)行工藝流程驗(yàn)證和結(jié)構(gòu)優(yōu)化。研發(fā)團(tuán)隊(duì)已申請(qǐng)數(shù)10項(xiàng)發(fā)明專利和在國(guó)際著名學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表9篇高質(zhì)量論文。

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